Вакуумные приборы

Страница 3

Электронограф включает также систему вакуумирования и блок электропитания, содержащий источники накала като­да, высокого напряжения, питания электромагнитных линз и различных устройств ка­меры объектов. Питающее устройство обеспечивает изменение ускоряющего потенциала по ступеням (напр., в О. «ЭР-100» 4 ступени: 25, 50, 75 и 100 кВ). Разрешающая способность Э. составляет тысячные доли А и за­висит от энергии электронов, сечения элек­тронного пучка и расстояния от об­разца до экрана, которое в современном электронографе мо­жет изменяться в пределах 200— 600 мм. Управление современных электронографов, как пра­вило, автоматизировано.